1.输出流量：20SLPM，当30Psig时 
2.露点：<-30℃（<15L）；<-20℃（＞15L）
3.输出浓度：SO2<0.1ppb，NO<0.1ppb，H2S<0.1ppb，NH3<0.1ppb，NO2<0.1ppb，O3<0.4ppb，CO<0.02ppm，CH4<5ppb，非甲烷总烃<0.25ppb