1.稀释气流量范围：标配：0~10SLM；可选：0~5SLM、0~20SLM
2.标气流量范围：标配：0~100sccm；可选0~50sccm0~200sccm
3.流量控制准确度：±1%F.S. 
4.流量线性：±（0.5~1）%F.S. 
5.流量控制重复性：±0.2%F.S. 
6.标气输入口：4个 
7.稀释气输入口：1个